轮廓仪
本仪器测量原理为直角坐标测量法,即通过X轴、Z1轴传感器,测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点,通过电器组件,将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机,软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理,标注所需的工程测量项目。
| 项目 | 测量范围 | 分辨率 | |
| X轴 | 150 | 0.01μm | |
| Z轴(立柱) | 320 | - | |
| Z1轴(传感器轮廓) | 30mm | 0.001μm | |
| Z1轴(传感器粗糙度) | ±500μm | 0.001μm | |
| X轴导轨移动精度 | ≤±(1+|0.02L|)μm | ||
| 线性精度' | ≤±(0.8+|0.05H|)μm | ||
| 圆弧 | ≤±(1.5+R/12)μm | ||
| 角度 | ≤±1′ | ||
| 直线度 | ≤0.5μm/50mm | ||
| 爬坡能力 | 上坡77°,下坡88° | ||
| 轮廓测量速度 | 0.2-0.4 mm/s | ||